Резидент особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва» завод «Микрон» (входит в ГК «Элемент») ведет активную работу по импортозамещению химических материалов и аттестации российских компонентов для производства микроэлектроники. На конец 2023 года предприятие заместило отечественными аналогами 26 материалов, которые ранее приобретались у зарубежных производителей. Об этом сообщил министр правительства Москвы, руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики, входящего в Комплекс экономической политики и имущественно-земельных отношений столицы, Владислав Овчинский.
«За девять месяцев 2023 года выручка кластера микроэлектроники ОЭЗ столицы составила почти 27,5 миллиарда рублей, что в 2,2 раза превышает показатели аналогичного периода 2022-го. Одним из ключевых направлений стратегии развития радиоэлектронной промышленности является производство устройств и систем на основе отечественной компонентной базы. Резидент особой экономической зоны Москвы на конец 2023 года аттестовал к применению в серийном производстве 26 российских химических материалов для производства микросхем с топологией 180–90 нанометров. Еще 28 находятся в разработке. Это обеспечит заводу независимость от зарубежных поставщиков», – отметил Владислав Овчинский.
Чипы предприятия используют в банковских картах «Мир», загранпаспортах, водительских удостоверениях, транспортной карте «Тройка», школьной карте «Москвенок».
«В третьем квартале 2023 года предприятие аттестовало к применению в серийном производстве суспензию отечественного производства для химико-механической полировки полупроводниковой пластины. Материал успешно прошел испытания и соответствует требованиям сверхчистого микроэлектронного производства», – уточнил генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дёгтев.
Сверхчистые материалы – это вещества, в которых уровень сторонних примесей не превышает 0,0001 процента. Трехмерная структура чипа формируется на кремниевой подложке слой за слоем в ходе строго регламентированного техпроцесса, который включает сложную высокоточную химобработку. В рамках него завод тестирует российские химические материалы, которые могут быть использованы для производства микросхем.
«В техпроцессах «Микрона» применяются сверхчистые химические материалы, реактивы, газы и смеси, в том числе 5 типов суспензии для химико-механической полировки. Отечественная суспензия диоксида кремния, которую мы аттестовали в октябре 2023 года, используется в процессе химико-механической полировки для выравнивания поверхности межуровневого диэлектрика и позволяет формировать надежные электрические соединения в системах с многоуровневой металлизацией. Данная суспензия используется на технологических линиях по выпуску кремниевых пластин для микросхем с топологией 180–90 нанометров. Ведущее предприятие ГК «Элемент» готово полностью перейти на использование отечественных сверхчистых материалов в своих технических процессах до конца 2025 года», – подчеркнула генеральный директор завода Гульнара Хасьянова.
ОЭЗ «Технополис Москва» – территория с особым юридическим статусом, на которой действует льготный режим предпринимательской деятельности для инвесторов. Площадь шести площадок («Печатники», «Алабушево», «Микрон», «МИЭТ», «Ангстрем», «Ру́днево»), на которых размещаются высокотехнологичные предприятия ОЭЗ, превышает 275 гектаров. Особая экономическая зона «Технополис Москва» на протяжении нескольких лет является лидером международных и национальных отраслевых рейтингов.
